一、半導體無塵烤箱設備用途:
   半導體無塵烤箱Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、半導體無塵烤箱產品特點：
1、在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100級；
2、內膽四周氬弧焊，耐高溫硅膠密封，SUS304#不銹鋼加熱器，防機臺本身所產生微塵；
3、采平面水平送風后經美國進口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4、箱內空氣封閉強制自循環，經耐高溫空氣過濾器反復過濾，使干燥箱工作室內處于無塵狀態。水平循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，溫度控制精度。
5、配壓差計隨時了解過濾器工作狀態。

三、半導體無塵烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理：
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與Class 100級潔凈度小限度控制風速距離。

三、技術參數：